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美国TEM-250-24过滤器功能和优点

 发布时间:2022-06-27 点击量:239

美国TEM-250-24过滤器功能和优点

GasPro™ TEM-200系列滤波器设计用于3 nm颗粒截留率高达200 scfm,且温度高达80?C(176F)。ePTFE膜(1.36 m2/14.6平方英尺)使用聚丙烯支撑结构封闭在

316L不锈钢外壳,具有的流动性和耐化学性。使用标准Vitono形圈(其他o形圈材料可在重新测试时获得)。

TEM-250-24过滤器应用

•一般和工艺惰性设施气体。

•关键工艺的清洁干燥空气(CDA*),包括

前开口统一吊舱(FOUP)清洁和光刻。

TEM-250-24过滤器规格

•过滤等级

我们的多孔ePTFE过滤器可提供有效的3 nm颗粒保留。

•高工作温度*80°C(176°F)。

建议更换:在69ºC(156ºF)以上运行6个月。

•大工作压力20°C(68°F)时为17.2 bar(250 psig)。

•大正向流量压差20ºC(68ºF):6.0 bar(87 psi)

80ºC(176ºF):4.0 bar(58 psi)

TEM-250-24过滤器功能和优点

•电抛光外壳

过滤器组件具有15Ra电抛光316L不锈钢外壳,防止腐蚀和粒子在内表面上积聚。

•包装外清洁度

我们的GasPro™ 清洁TEM-200过滤器,并包装在无尘室内,不含有机物包装外、无颗粒和无化学品清洁度。终组装已清除使用过滤氮气进行初始清洁。附加的预处理是可选的。

•多种配件选项,便于安装标准配件选项包括端面/垫片密封,压缩、对焊和NPT。特殊配件,包括三夹钳(三叶草)卫生和法兰类型,可根据要求提供。

•氦泄漏测试

所有装置均以1x10-9 atm cc/s的速度进行测试。

美国TEM-311-24过滤器参数:

我们的多孔ePTFE过滤器提供有效的颗粒滞留3 nm。 

高工作温度* 80°C(176°F)。 建议更换:在69C(156F)以上工作6个月。 

大工作压力17.2 bar (250 psig) @ 20°C(68°F)。 

大正向差压20C(68F): 6.0 bar (87 psi) 80?C(176F): 4.0 bar (58 psi)  

一般和工艺惰性设施气体,用于半导体,脂肪板显示和其他高纯度应用。 G酶用于关键的脂肪板工艺,包括衬底退火。 对于关键工艺,包括前开口统一吊舱(FOUP)清洗和光刻,采用稀薄干燥的空气。  

TEM-200零件号和订购信息

零件号入口/出口配件过滤介质/外壳其他材料长度(L)

TEM-215-16 1.0“阳垫圈密封入口/出口

PTFE/316L不锈钢聚丙烯

氟橡胶®密封*658.4毫米(25.92英寸)

TEM-228-16 1.0“内螺纹NPT入口/出口640.1 mm(25.2")

TEM-250-24 1.5“短管入口/出口637.5 mm(25.1")

TEM-250-32 2.0“短管入口/出口637.5 mm(25.1")

TEM-260-DN50法兰(详见图纸)643.1 mm(25.32")