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GasPro™过滤器TEM-150-24短管入口/出口技术规格

 发布时间:2022-08-15 点击量:127

GasPro™过滤器TEM-150-24短管入口/出口技术规格

GasPro™TEM-100系列

•电抛光外壳过滤器组件具有15Ra电抛光316L不锈钢外壳,防止腐蚀和腐蚀粒子在内表面上堆积。

•包装外清洁度我们的加斯普罗™ 清洁TEM-100过滤器,并在无尘室内包装,不含有机成分处理包装外、无颗粒和无化学品清洁度。最终组件被清除用过滤氮气进行初始清洁。附加的预处理是可选的。

•多种配件选项,便于安装标准配件选项包括端面/垫片密封,压缩、对焊和NPT。特殊配件,包括三夹(三叶草)卫生和法兰类型,可根据要求提供。

•氦泄漏测试所有装置均以1x10-9 atm cc/秒的速度进行测试。

零件号、入口/出口配件、过滤介质/外壳、其他材料、长度(L)

TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口

PTFE/316L不锈钢钢聚丙烯

氟橡胶®密封件*899.9毫米(35.43英寸)

TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm(34.0")

TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm(37.25")

TEM-160-24 1.5“三夹端889 mm(35.0")

GasPro™TEM-100在线高流量ePTFE滤器TEM-128-24

GasPro™TEM-100系列滤光片的设计波长为3 nm颗粒截留率高达300 scfm,以及温度敢达80ºC(176ºF)。ePTFE膜(2.04m2/22.0平方英尺)带着

聚丙烯支撑结构封闭在不锈钢316L外壳,具有出色的流动性和稳定性耐化学性。使用标准Viton®o形圈(其他o形圈材料可在重新测试时获得)。

应用

•一般和工艺惰性气体设施半导体、平板显示器和其他高纯度应用。

•用于关键平板工艺的气体,包括衬底退火。

•关键工艺的清洁干燥空气,包括:前开口统一吊舱(FOUP)清洁和安装光刻。

规格

•过滤等级我们的多孔ePTFE滤光片可提供有效的3纳米滤光片颗粒保留。

•最高工作温度*80摄氏度(176华氏度)。

建议更换:在69ºC(156ºF)以上运行6个月。

•最大工作压力在20°C(68°F)条件下为17.2bar(250 psig)。

•最大正向流量压差

20ºC(68ºF):6.0bar(87磅/平方英寸)

80ºC(176ºF):4.0bar磅/平方英寸)