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GasPro™ 过滤器TEM-3715-8用于集成电路行业

 发布时间:2022-09-28 点击量:134

GasPro™ 过滤器TEM-3715-8用于集成电路行业

TEM-3700超高纯度镍316L在线过滤3700超高纯度镍316L在线过滤

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GasPro公司 TEM-3700系列过滤器

用于过滤超高压半导体气体当采用紧凑、全金属、耐腐蚀设计时是必需的。这种全焊接组件将提供3nm需要低压降时的颗粒滞留空间有限。

镍介质封装在316L不锈钢全焊接过滤器中,具有良好的烘烤特性用于快速干燥和在线鉴定。标准半导体工业配件用于易于安装。

TEM-3700技术规格

•过滤等级有效的3 nm颗粒保留。

•高工作温度惰性气体中为200°C(392°F)。

•大工作压力3700、3740、3370系列:20°C(68°F)时为206.8 bar(3000 psig)。

功能和优点

•电抛光外壳过滤器组件具有15Ra电抛光316L不锈钢外壳,防止腐蚀和内表面上的颗粒堆积。

•包装外清洁度

我们的GasPro™ 清洁TEM-3700过滤器包装在无有机物的洁净室中包装外、无颗粒和无化学清洁度。净化总装用过滤氮气进行初始清洁。附加的预处理是可选的。

•施工

316L封装的烧结镍纤维介质不锈钢外壳。

•氦泄漏测试所有装置均测试为1x10-9 atm cc/s。