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TEM过滤器TEM-128-24规格参数

描述:TEM过滤器TEM-128-24规格参数
•通用和工艺惰性气体设施半导体、平板显示器和其他高纯度应用。
•用于关键平板工艺的气体,包括基板退火。
的清洁干燥空气,包括前开口统一吊舱(FOUP)清洁和光刻。

更新时间:2022-07-12
产品型号:TEM-100系列
厂商性质:经销商
访问次数:1511
详情介绍
品牌其他品牌供货周期一个月以上
应用领域环保,电子,航天,电气,综合

TEM过滤器TEM-128-24规格参数

GasPro™  TEM-100高流量ePTFE串联滤器TEM-128-24规格参数

GasPro™  TEM-100系列滤波器设计用于3 nm颗粒截留率高达300 scfm,且温度高达80?C(176F)。ePTFE膜(2.04 m2/22.0平方英尺)使用聚丙烯支撑结构封闭在316L不锈钢外壳,具有出色的流动性和耐化学性。使用标准Viton o形圈(其他o形圈材料可在重新测试时获得)。

TEM-100系列应用

•通用和工艺惰性气体设施半导体、平板显示器和其他高纯度应用。

•用于关键平板工艺的气体,包括基板退火。

•关键工艺的清洁干燥空气,包括前开口统一吊舱(FOUP)清洁和光刻。

TEM-100系列规格

•过滤等级我们的多孔ePTFE过滤器可提供有效的3 nm颗粒保留。

•最高工作温度*80°C(176°F)。

建议更换:在69ºC(156ºF)以上运行6个月。

•最大工作压力20°C(68°F)时为17.2 bar(250 psig)。

•最大正向流量压差20ºC(68ºF):6.0bar(87 psi)80ºC(176ºF):4.0bar(58 psi)

TEM-100系列功能和优点

•电抛光外壳过滤器组件具有15Ra电抛光316L不锈钢外壳,防止腐蚀和粒子在内表面上积聚。

•包装外清洁度我们的GasPro™ 清洁TEM-100过滤器,并包装在无尘室内,不含有机物包装外、无颗粒和无化学品清洁度。最终组装已清除使用过滤氮气进行初始清洁。附加的预处理是可选的。

•多种配件选项,便于安装标准配件选项包括端面/垫片密封,压缩、对焊和NPT。特殊配件,包括三夹钳(三叶草)卫生和法兰类型,可根据要求提供。

•氦泄漏测试所有装置均以1x10-9 atm cc/s的速度进行测试。

零件号入口/出口配件过滤介质/外壳其他材料长度(L)

TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口

PTFE/316L不锈钢

TEM过滤器TEM-128-24规格参数

聚丙烯

氟橡胶®密封*899.9毫米(35.43英寸)

TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm(34.0”)

TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm(37.25”)

TEM-160-24 1.5“三夹端889 mm(35.0”)

 

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