TEM过滤器GasPro TEM-160-24用于半导体行业

TEM过滤器GasPro  TEM-160-24用于半导体行业

GasPro TEM-100系列

电抛光外壳过滤器组件具有15Ra电抛光316L不锈钢外壳，防止腐蚀和腐蚀粒子在内表面上堆积。

包装外清洁度我们的加斯普罗? 清洁TEM-100过滤器，并在无尘室内包装，不含有机成分处理包装外、无颗粒和无化学品清洁度。终组件被清除用过滤氮气进行初始清洁。附加的预处理是可选的。

多种配件选项，便于安装标准配件选项包括端面/垫片密封，压缩、对焊和NPT。特殊配件，包括三夹（三叶草）卫生和法兰类型，可根据要求提供。

氦泄漏测试所有装置均以1x10-9 atm cc/秒的速度进行测试。

零件号、入口/出口配件、过滤介质/外壳、其他材料、长度（L）

TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口

PTFE/316L不锈钢钢聚丙烯

氟橡胶密封件*899.9毫米（35.43英寸）

TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm（34.0”）

TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm（37.25”）

TEM-160-24 1.5“三夹端889 mm（35.0”）

GasPro 过滤器TEM-150-24技术规格

GasPro?TEM-100在线高流量ePTFE滤器TEM-128-24

GasPro?TEM-100系列滤光片的设计波长为3 nm颗粒截留率高达300 scfm，以及温度敢达80C（176°F）。ePTFE膜（2.04m2/22.0平方英尺)带着

聚丙烯支撑结构封闭在不锈钢316L外壳，具有的流动性和稳定性耐化学性。使用标准Viton o形圈（其他o形圈材料可在重新测试时获得）。TEM过滤器GasPro  TEM-160-24用于半导体行业

应用

?一般和工艺惰性气体设施半导体、平板显示器和其他高纯度应用。

?用于关键平板工艺的气体，包括衬底退火。

?关键工艺的清洁干燥空气，包括：前开口统一吊舱（FOUP）清洁和安装光刻。

规格

?过滤等级我们的多孔ePTFE滤光片可提供有效的3纳米滤光片颗粒保留。

?高工作温度*80摄氏度（176华氏度）。

建议更换：在69C（156°F））以上运行6个月。

?大工作压力在20°C（68°F）条件下为17.2bar（250 psig）。

?大正向流量压差

20?C（68?F）：6.0bar（87磅/平方英寸）

80?C（176?F）：4.0bar磅/平方英寸）